На виставці Canon Expo-2015 Tokyo, яка проходила в рамках форуму Tokyo International Forum, представники компанії Canon Inc. продемонстрували перші напівпровідникові чіпи, виготовлені за допомогою 11-нанометрової промислової технології нанодрукованої літографії (nanoimprint). І, згідно з наявною інформацією, дана технологія вже майже знаходиться на стадії готовності до її використання у виготовленні напівпровідникових пристроїв і приладів наступних поколінь.
Як повідомляє techon.nikkeibp.co.jp, нанодрукована літографія – це технологія, що дозволяє сформувати елементи схем і електронних приладів на кремнієвій або іншій основі за допомогою спеціального штампа. Існуючі технології, засновані на звичайній літографії, стикаються з обмеженням мінімальних розмірів елементів і компонентів, які накладаються довжиною хвилі використовуваного світла, і в даний час вони вже майже впритул наблизилися до порогового значення своєї роздільної здатності. З іншого боку, у технології нанодруку немає ніяких явних обмежень, пов'язаних з довжинами хвиль світла, що в теорії може дозволити за допомогою таких технологій виробляти скільки завгодно малих елементів.
Слід зазначити, що фахівці компанії Canon Inc продовжують розробку технологій нанодруку спільно з фахівцями компанії Toshiba Corp. Така співпраця є успішною, про що свідчать перші пластини з 11-нм чіпами, вироблені в Японії, а в найближчому майбутньому обидві компанії зосередять свої зусилля на комерціалізації розроблених ними технологій.
Перші дослідні зразки обладнання, що використовує технологію нанодруку за нормами 20, 16 і 11-нм технологічних процесів, будуть готові і відправлені виробникам напівпровідникової продукції в 2016 році. А повне доведення цих нових технологічних процесів до рівня їхнього масового застосування буде завершене в термін від одного до півтора років. Таким чином, можна сподіватися, що перші чіпи, виготовлені за допомогою 11-нанометрової нанодрукованої літографії, з'являться на ринку в 2017 році, якщо під час роботи над ними не станеться нічого екстраординарного.
Найімовірніше, що перші зразки обладнання, що використовує технологію нанодруку, будуть використовуватися для виробництва чіпів NAND флеш-пам'яті, виробництво якої є досить складним. Слід зазначити, що технологія нанодруку має більш низьку продуктивність, ніж звичайна літографія. Але нове технологічне обладнання буде набагато компактнішим і недорогим, таким чином, виробники, збільшуючи обсяги свого виробництва, зможуть організувати паралельну роботу декількох ліній без особливо значних витрат.
А в майбутньому, коли будуть вирішені деякі з головних проблем технології нанодруку, які полягають в наявності на кристалі залишкового пилу і деяких дефектів, цю технологію можна буде використовувати не тільки для виробництва флеш-пам'яті, але і для виробництва чіпів цифрових логічних мікросхем, зокрема, і мікропроцесорів.
